シリコンウエハのアライメント

シリコンウエハのアライメント

膜厚測定装置における測定前のシリコンウエハアライメントにおいて選定されたレンズとは?

●導入製品

事例ダイジェスト

導入前の課題 VS-THV-SWIRの評価と選定の理由

・ウエハーの裏面を見る為、可視光ではなく赤外光を使うことで透過して撮像をしようとしていた。
・通常のレンズだと明るさが足りず、検査の速度を上げることができなかった。

・THV-SWIRを使うことで従来のテレセントリックレンズより4倍明るくなり解決できた。

導入前の課題

・ウエハーの裏面を見る為、可視光ではなく赤外光を使うことで透過して撮像をしようとしていた。
・通常のレンズだと明るさが足りず、検査の速度を上げることができなかった。

VS-THV-SWIRの評価と選定の理由

・THV-SWIRを使うことで従来のテレセントリックレンズより4倍明るくなり解決できた。

課題解決に選定されたVS-THV-SWIRについて
課題解決に選定されたVS-THV-SWIRについて

1000 ~1600nmの透過率を高めたテレセントリックレンズ
・近赤外まで対応した設計
・1.1”& 1”センサー対応
・光学倍率1.0x/1.5x/2.0x/3.0x/4.0x 5機種ラインナップ
・全機種可変絞り対応
・全機種同軸落射照明対応

課題解決に選定されたVS-THV-SWIRについて

1000 ~1600nmの透過率を高めたテレセントリックレンズ
・近赤外まで対応した設計
・1.1”& 1”センサー対応
・光学倍率1.0x/1.5x/2.0x/3.0x/4.0x 5機種ラインナップ
・全機種可変絞り対応
・全機種同軸落射照明対応

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