矽晶圓對位

矽晶圓對位

在膜厚量測系統進行量測前,針對矽晶圓進行對位時,需要選擇什麼類型的鏡頭呢?

案例研究

挑戰/問題 為什麼選擇VS-THV-SWIR

・為了看到晶圓的背面,我們的客戶嘗試使用紅外光而不是可見光,讓光穿過晶圓進行成像。
・普通鏡頭的亮度不夠,無法提高檢查速度。

・選擇使用THV-SWIR可以解決這個問題,它的亮度是傳統遠心鏡頭的 4 倍。

挑戰/問題

・為了看到晶圓的背面,我們的客戶嘗試使用紅外光而不是可見光,讓光穿過晶圓進行成像。
・普通鏡頭的亮度不夠,無法提高檢查速度。

為什麼選擇VS-THV-SWIR

・選擇使用THV-SWIR可以解決這個問題,它的亮度是傳統遠心鏡頭的 4 倍。

此案例分析所選擇的 VS-THV-SWIR 系列規格
此案例分析所選擇的 VS-THV-SWIR 系列規格

1000 ~ 1600nm 高穿透率的遠心鏡頭
・專為SWIR而設計
・可支援1.1” & 1”吋Sensor size相機          
・有五種倍率可選擇1.0x/1.5x/2.0x/3.0x/4.0x
・具備同軸光口”

此案例分析所選擇的 VS-THV-SWIR 系列規格

1000 ~ 1600nm 高穿透率的遠心鏡頭
・專為SWIR而設計
・可支援1.1” & 1”吋Sensor size相機          
・有五種倍率可選擇1.0x/1.5x/2.0x/3.0x/4.0x
・具備同軸光口”

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