실리콘 웨이퍼 조정

실리콘 웨이퍼 조정

막 두께 측정 장치의 과정 중 측정하기 전의 실리콘 웨이퍼 조정을 하기 위해 선정한 렌즈는?

사례 요약

도입전 과제 VS-THV-SWIR 평가와 선정 이유

・웨이퍼의 뒷면을 보기 위해, 가시광이 아닌 적외선을 사용하여 투과시킨 뒤 촬영하고 있었다.
・기존 렌즈는 밝기가 부족해, 검사 속도 향상에 어려움이 있었다.

THV-SWIR을 사용하여 기존의 텔레센트릭 렌즈보다 4배 더 밝아져 문제를 해결했습니다.

도입전 과제

・웨이퍼의 뒷면을 보기 위해, 가시광이 아닌 적외선을 사용하여 투과시킨 뒤 촬영하고 있었다.
・기존 렌즈는 밝기가 부족해, 검사 속도 향상에 어려움이 있었다.

VS-THV-SWIR 평가와 선정 이유

THV-SWIR을 사용하여 기존의 텔레센트릭 렌즈보다 4배 더 밝아져 문제를 해결했습니다.

과제해결에 선정된 VS-THV-SWIR 시리즈에 대해서
과제해결에 선정된 VS-THV-SWIR 시리즈에 대해서

1000~1600nm의 투과율을 높인 텔레센트릭 렌즈
“・근적외선까지 대응 가능한 설계
・1.1″” & 1″” 센서 대응
・광학 배율 1.0x/1.5x/2.0x/3.0x/4.0x 5기종 라인업
・전 기종 가변 조리개 대응
・전 기종 동축 낙사 조명 대응”

과제해결에 선정된 VS-THV-SWIR 시리즈에 대해서

1000~1600nm의 투과율을 높인 텔레센트릭 렌즈
“・근적외선까지 대응 가능한 설계
・1.1″” & 1″” 센서 대응
・광학 배율 1.0x/1.5x/2.0x/3.0x/4.0x 5기종 라인업
・전 기종 가변 조리개 대응
・전 기종 동축 낙사 조명 대응”

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