シリコンウエハのアライメント
事例ダイジェスト
| 導入前の課題 | VS-THV-SWIRの評価と選定の理由 |
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・ウエハーの裏面を見る為、可視光ではなく赤外光を使うことで透過して撮像をしようとしていた。 |
・THV-SWIRを使うことで従来のテレセントリックレンズより4倍明るくなり解決できた。 |
導入前の課題
・ウエハーの裏面を見る為、可視光ではなく赤外光を使うことで透過して撮像をしようとしていた。
・通常のレンズだと明るさが足りず、検査の速度を上げることができなかった。
VS-THV-SWIRの評価と選定の理由
・THV-SWIRを使うことで従来のテレセントリックレンズより4倍明るくなり解決できた。
| 課題解決に選定されたVS-THV-SWIRについて | |
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1000 ～1600nmの透過率を高めたテレセントリックレンズ |
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VS-H1-SWIR シリーズ
仕様書、図面
