シリコンウエハ異物検査
事例ダイジェスト
| 導入前の課題 | VS-THV-SWIRの評価と選定の理由 |
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・分解能を高くし検査の精度を上げたい。 |
・SWIR対応の高分解能レンズのため、最新の高解像センサーに対応でき分解能の改善ができた。 |
導入前の課題
・分解能を高くし検査の精度を上げたい。
・撮像エリアを大きくしてタクトタイムを上げたい。
VS-THV-SWIRの評価と選定の理由
・SWIR対応の高分解能レンズのため、最新の高解像センサーに対応でき分解能の改善ができた。
・SWIR帯の透過率が高く、明るく撮像できることでタクトタイム向上につながった。
| 課題解決に選定されたVS-THV-SWIRについて | |
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1000 ～1600nmの透過率を高めたテレセントリックレンズ |
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仕様書、図面
