硅晶圆对位

硅晶圆对位

在薄膜厚度测量系统进行测量前,针对硅晶圆进行对位时,需要选择什么类型的镜头呢?

案例研究摘要

挑战/问题 为什么选择 VS-THV-SWIR

・为了看到晶圆的背面,我们的客户尝试使用红外光而不是可见光,让光穿过晶圆进行成像。
・普通镜头的亮度不够,无法提高检查速度。

选择使用THV-SWIR可以解决这个问题,它的亮度是传统远心镜头的 4 倍。

挑战/问题

・为了看到晶圆的背面,我们的客户尝试使用红外光而不是可见光,让光穿过晶圆进行成像。
・普通镜头的亮度不够,无法提高检查速度。

为什么选择 VS-THV-SWIR

选择使用THV-SWIR可以解决这个问题,它的亮度是传统远心镜头的 4 倍。

此案例分析所选择的 VS-THV-SWIR 系列规格
此案例分析所选择的 VS-THV-SWIR 系列规格

1000 ~ 1600nm 高穿透率的远心镜头
・专为SWIR而设计
・可支持1.1” & 1”英寸Sensor size相机          
・有五种倍率可选择1.0x/1.5x/2.0x/3.0x/4.0x
・具备同轴光口”

此案例分析所选择的 VS-THV-SWIR 系列规格

1000 ~ 1600nm 高穿透率的远心镜头
・专为SWIR而设计
・可支持1.1” & 1”英寸Sensor size相机          
・有五种倍率可选择1.0x/1.5x/2.0x/3.0x/4.0x
・具备同轴光口”

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