矽晶圓外觀瑕疵檢測

矽晶圓外觀瑕疵檢測

若要提高矽晶圓電路上的異物與異常的檢測精度,需要選擇什麼類型的鏡頭呢?

案例研究

挑戰/問題 為什麼選擇VS-THV-SWIR

・客戶要求更高的解析度和檢測精度
・想透過擴大成像區域來加快檢測時間

・兼容 SWIR 的高解析度鏡頭可以處理最新的高解析度傳感器並提高解析度。
・SWIR 的高穿透率和明亮的成像能力,可有效改善檢測時間。

挑戰/問題

・客戶要求更高的解析度和檢測精度
・想透過擴大成像區域來加快檢測時間

為什麼選擇VS-THV-SWIR

・兼容 SWIR 的高解析度鏡頭可以處理最新的高解析度傳感器並提高解析度。
・SWIR 的高穿透率和明亮的成像能力,可有效改善檢測時間。

此案例分析所選擇的VS-THV-SWIR系列規格
此案例分析所選擇的VS-THV-SWIR系列規格

1000 ~ 1600nm 高穿透率的遠心鏡頭
・專為SWIR而設計
・可支援1.1” & 1”吋Sensor size相機          
・有五種倍率可選擇1.0x/1.5x/2.0x/3.0x/4.0x
・具備同軸光口”

此案例分析所選擇的VS-THV-SWIR系列規格

1000 ~ 1600nm 高穿透率的遠心鏡頭
・專為SWIR而設計
・可支援1.1” & 1”吋Sensor size相機          
・有五種倍率可選擇1.0x/1.5x/2.0x/3.0x/4.0x
・具備同軸光口”

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