Imagen de grietas en el interior de la oblea
Inspeccion de piezas que no pueden visualizarse con luz visible.
Inspeccion de grietas en el interior de borde en la oblea de silicio despues del corte en troceado.
●Producto instalado.
Resumen de estudios de caso
Desafío / Problemas | Evaluación del VS-THV-SWIR |
---|---|
Defectos adentro de obleas de silicio puede causar accidentes serios. |
Las obleas de silicio tienen la propiedad de transmitir luz SWIR, y mediante el uso de luz SWIR se pueden obtener imágenes de grietas en el interior de la oblea cuando observando directamente desde arriba de la oblea. |
Desafío / Problemas
Defectos adentro de obleas de silicio puede causar accidentes serios.
No es possible usar illuminacion visible adentro de las obleas para removerlas.
La necesidad es eliminarlo antes de pasar al siguiente procesor, y ahorra los residuos.
Evaluación del VS-THV-SWIR
Las obleas de silicio tienen la propiedad de transmitir luz SWIR, y mediante el uso de luz SWIR se pueden obtener imágenes de grietas en el interior de la oblea cuando observando directamente desde arriba de la oblea.
VS-THV-SWIR contribuye a la imagen con aproximadamente cuatro veces la transmitancia de onda de 1000 a 1600nm en comparacion con lentes de vision iluminacion visible. *La transmitancia varia dependiendo de la longitud de onda.
Es compatible con la luz SWIR y dispone de una gama de aumentos ópticos de 1.0 a 4.0x, por lo que es capaz de realizar inspecciones de precisión de obleas en unidades de micras.
Sobre la serie VS-THV-SWIR seleccionada para resolver el problema del caso de estudio. | |
---|---|
ente Telecentrico con Soporte de 1″ y 1.1″ |
Sobre la serie VS-THV-SWIR seleccionada para resolver el problema del caso de estudio.
ente Telecentrico con Soporte de 1″ y 1.1″
・Magnificacion Optica de 1.0x/1.5x/2.0/3.0x/4.0x
・1.0X, 1.5X, y 2.0X tienen soporte de 1″” y 3.0X, 4.0X tienen soporte de 1.1″”
・Lentes con transmitencia amplificada de 1000nm a 1600nm
・Profundidad de campo ajustable para todos los modelos con apertura variable.