撮像例 ウエハパターン
VS-TCM1-65CO/S-RIRなら、照明波長を変えるだけで異なる検査ができる。
また、波長を変えてもピントが合ったまま撮像できる。
照明波長変更 × フォーカスシフト補正
バックライト照明の波長を変えて撮像
アライメントマークがくっきり可視化できる
スポット照明の波長を変えて撮像
表面欠陥をくっきり可視化できる
| 型式 | 光学倍率 | WD (mm) | NA | 同軸落射照明 | マウント | ダウンロード / 見積・デモ依頼 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| VS-TCM1-65CO/S-RIR | 1.0x | 65 | 0.067 | Built-in | C-Mount | 会員登録・ログイン |
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