硅晶圆外观瑕疵检测

硅晶圆外观瑕疵检测

若要提高硅晶圆电路上的异物与异常的检测精度,需要选择什么类型的镜头呢?

案例研究摘要

挑战/问题 为什么选择 VS-THV-SWIR

・客户要求更高的分辨率和检测精度
・想透过扩大成像区域来加快检测时间

・兼容 SWIR 的高分辨率镜头可以处理最新的高分辨率传感器并提高分辨率。
・SWIR 的高穿透率和明亮的成像能力,可有效改善检测时间。

挑战/问题

・客户要求更高的分辨率和检测精度
・想透过扩大成像区域来加快检测时间

为什么选择 VS-THV-SWIR

・兼容 SWIR 的高分辨率镜头可以处理最新的高分辨率传感器并提高分辨率。
・SWIR 的高穿透率和明亮的成像能力,可有效改善检测时间。

此案例分析所选择的 VS-THV-SWIR 系列规格
此案例分析所选择的 VS-THV-SWIR 系列规格

1000 ~ 1600nm 高穿透率的远心镜头
・专为SWIR而设计
・可支持1.1” & 1”吋Sensor size相机          
・有五种倍率可选择1.0x/1.5x/2.0x/3.0x/4.0x
・具备同轴光口”

此案例分析所选择的 VS-THV-SWIR 系列规格

1000 ~ 1600nm 高穿透率的远心镜头
・专为SWIR而设计
・可支持1.1” & 1”吋Sensor size相机          
・有五种倍率可选择1.0x/1.5x/2.0x/3.0x/4.0x
・具备同轴光口”

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