실리콘 웨이퍼 이물 검사

실리콘 웨이퍼에 패터닝 된 회로의 이상 및 이물질 검사의 정확도를 높이기 위해 선정된 렌즈?

●도입제품

사례 요약

도입전 과제	VS-THV-SWIR 평가와 선정 이유
・분해능을 높여 검사 정확도를 높이고 싶다. ・촬영 영역을 확대해 택트 타임을 올리고 싶다.	・SWIR 대응 고분해능 렌즈 덕분에, 최신 고해상도 센서에 대응할 수 있어 분해능을 개선하였다. ・SWIR의 높은 투과율과 밝게 촬영하는 능력으로 택트 타임이 향상되었습니다.

・분해능을 높여 검사 정확도를 높이고 싶다.
・촬영 영역을 확대해 택트 타임을 올리고 싶다.

・SWIR 대응 고분해능 렌즈 덕분에, 최신 고해상도 센서에 대응할 수 있어 분해능을 개선하였다.
・SWIR의 높은 투과율과 밝게 촬영하는 능력으로 택트 타임이 향상되었습니다.

과제해결에 선정된 VS-THV-SWIR 시리즈에 대해서
사양서, 도면 제품 영상	1000~1600nm의 투과율을 높인 텔레센트릭 렌즈 “・근적외선까지 대응 가능한 설계 ・1.1″” & 1″” 센서 대응 ・광학 배율 1.0x/1.5x/2.0x/3.0x/4.0x 5기종 라인업 ・전 기종 가변 조리개 대응 ・전 기종 동축 낙사 조명 대응”

사양서, 도면 제품 영상

1000~1600nm의 투과율을 높인 텔레센트릭 렌즈
“・근적외선까지 대응 가능한 설계
・1.1″” & 1″” 센서 대응
・광학 배율 1.0x/1.5x/2.0x/3.0x/4.0x 5기종 라인업
・전 기종 가변 조리개 대응
・전 기종 동축 낙사 조명 대응”